在仪器仪表查询网站上你是否已经找到那款名为光电轮廓仪WGL的设备
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术,实现了对各种工件表面微观形貌的精确测量,无需对工件进行任何物理接触。这种方法不仅能够快速获取立体图形,还能准确分析计算测量结果。其应用范围广泛,包括但不限于测量各种尺寸和形状的量块、精密光学零件表面的粗糙度;标尺和度盘刻线深度;复杂结构的光栅槽部镀层厚度以及边界结构;磁(光)盘及磁头表面的细节结构;硅片表面粗糙度及其上所包含的微观图形等。
该仪器之所以受到青睐,是因为它提供了极高的测量精度,并且具备非接触性和三维空间测量能力。此外,它还配备了先进的人机交互系统,通过计算机控制进行快速数据处理与分析,以便迅速获得准确可靠的测量结果。因此,本款光电轮廓仪非常适合各级测试计量研究单位、工业企业计量室、高科技加工车间,以及高等院校和科研机构。
二、技术规格参数
表面微观不平深度检测范围:在连续曲线上,两邻象素高度变化大于波长四分之一时为130nm±1nm,小于或等于波长四分之一时为1000nm±1nm。
测距重复性:δRa ≤ 0.5 nm
物镜放大倍数:40X
数值孔径:Φ65mm
工作距离:0.5mm
目视视场宽/摄像视场宽: Φ0.25mm / 13×13µm² (屏幕显示)
放大倍数(目视/屏幕):500x / 2500x (屏幕显示)
接收器采样阵列大小:1000×1000象素
象素尺寸:5.2×5.2µm²
测距时间/扫描速度:1秒一次
标准镜反射率(高/低):约50% / 约4%
主要组件包括白炽灯6V 5W作为照明源,一套绿色干涉滤波片用于介质隔离,其波长设定为λ≒530nm带有10nm半带宽。此外,该设备配备主显镜升降程110mm,可调节工作台升降程至5mm,同时支持X/Y方向移动达10mm,以及360°旋转运动和±6°倾斜调整。在运算方面,该仪器搭载P4 CPU以上性能电脑配置至少2.8G内存及17英寸纯平显示器以提供优化用户体验。