光电轮廓仪WGL算得了这仪器仪表吗
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术,实现了对各类工件表面微观形貌的高精度三维测量,无需对被测物体进行任何物理接触,既保证了测量结果的准确性,又防止了表面的损伤。通过高速扫描和计算机快速分析处理,可迅速获得丰富细节的立体图像,并提供详尽的数据分析,为用户提供了一种全新的视觉体验。其应用领域广泛,包括但不限于各种精密零件、光学镜片、电子元器件等多种复杂表面的粗糙度和结构形貌测量,以及磁盘、磁头等电子设备表面的检测。此外,它还可用于硅片及其他半导体材料的表面质量评估。
由于其卓越性能,如高效率、高精度以及非接触与三维测量相结合,本款光电轮廓仪深受各级测试机构、大型工厂、高等教育机构以及科研单位青睐,是他们日常工作中的重要工具。
二、新技术参数介绍
测量范围:对于连续平滑面而言,其高度变化不得超过波长四分之一时,可以达到1000:1nm;如果有较大的突变,则为130:1nm。
精确重复性:δRa ≤ 0.5 nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ65mm
工作距离:0.5mm
视场大小:
目视观察范围:Φ0.25mm
摄象机捕捉面积:0.13×0.13mm(相当于电脑屏幕显示)
放大倍数:
目视放大倍数500×
摄象放大倍数(电脑显示):2500×
8.. 接收器阵列尺寸:
1000个横向元素 × 1000个纵向元素
9.. 象素尺寸: 每个象素为5.2×5.2μm²
10.. 测量时间采样速度: 每次扫描仅需1秒钟
11.. 标准反射镜:
高反射率约50%
低反射率约4%
12.. 照明源:
白炽灯功率6V, 5W
13.. 绿色滤光片:
波长λ≒530nm
14.. 滤光片宽带 λ≒10nm
15.."主显微镜升降程"110 mm; "工作台升降程" 5 mm;
16.."X方向移动范围"±10 mm; "Y方向移动范围" ±10 mm;
17.."工作台旋转角度"360°; "顷斜角度±6°";
18.."系统配置":
计算机CPU P4或更高;内存至少1G;显示器17英寸纯平屏幕。