在仪器仪表网络销售平台上光电轮廓仪WGL又是哪一款呢
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术,实现了对各类工件表面微观形貌的高精度三维测量,无需物理接触,不会对被测物损伤。通过高速扫描和计算机辅助分析,能够快速获取复杂表面的立体图像,并准确计算出相关参数。其应用领域广泛,包括但不限于量块、光学零件表面的粗糙度测量;标尺及度盘刻线深度检测;光栅结构镀层厚度和边界形貌分析;磁(光)盘与磁头表面结构检查;硅片上图形结构精密测量等。
由于其卓越的性能,具备高精度、高效率且具有非接触性与三维测量能力,本仪器适合用于各种规模的测试计量研究机构、工业企业计量室以及精密加工车间。此外,它也成为高等院校和科研单位不可或缺的一部分。
二、主要技术规格
测量范围:对于连续平滑表面,在波长四分之一以下无突变时为1000nm至1nm,对于包含波长四分之一以上高度突变时为130nm至1nm。
测验重复性:δRa ≤0.5 nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ 65
工作距离:0.5mm
视场:
目视观察: Φ0.25mm
摄象显示: 0.13×0.13mm
放大倍数:
目视放大: 500×
摄象放大(屏幕显示): 2500×
8.. 接收器阵列大小: 1000X1000个像素点,每个像素点尺寸为5.2×5.2µm。
9.. 扫描时间采样时间: 每次约1秒。
10.. 标准镜反射率:
高反射率区段:>50%
低反射率区段:>4%
11.. 照明源类型及功耗:
白炽灯, 功耗约6V x 5W。
12.. 绿色干涉滤波片特征:
波长≒530 nm, 半宽 λ≒10 nm.
13.. 主显微镜升程能力: 总共110 mm.
14.. 工作台升程能力: 最高可达5 mm.
15.. 移动范围:
X方向/丫方向移动范围皆可达到±10 mm.
16.."工作台旋转角位控制能力":360°完全旋转;
17.."顷斜角"调整范围:±6°;
18.."系统配置":
计算机要求至少P4处理器, 内存需≥2G, 显示设备推荐使用17英寸纯平液晶监视器。