难道你不认识光电轮廓仪 WGL吗它可是我们在仪器仪表的认识和使用中不可或缺的一部分
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形貌的精确三维图像,并提供详尽的分析报告。其应用领域广泛,包括但不限于测量量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘刻线深度;光栅槽结构镀层厚度和边界形貌;磁(光)盘及磁头表面结构,以及硅片表面粗糙度及其图形结构等。此外,由于其高精度、高效率的特点,本仪器适用于各级测试研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间,同时也为高等院校和科研机构提供了强有力的支持。
二、技术规格配置
表面微观不平深度测量范围:在连续表面上,相邻象素之间高度突变小于波长四分之一时可达1000nm以内,大于此值时可达130nm以内,其重复性达到δRa ≤0.5nm。
物镜倍率为40X,数值孔径为Φ 65mm,工作距离约0.5mm,视场宽分别是目视 Φ0.25mm 和摄象 0.13×0.13mm.
仪器放大倍数设定有目视500×和摄象(计算机屏幕显示)2500×.
接收器采用1000X1000列阵,每个象素尺寸为5.2×5.2µm, 测量时间采样(扫描)速度可以达到1秒。
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数码电器行业动态