难道不是光电轮廓仪 WGL那些精准制造的灵魂仪器仪表制造工在操作中的智慧和技艺吗

一、产品特性概述

本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形态的精确三维图像,并提供详尽的分析报告。其应用领域广泛,包括但不限于测量量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘刻线深度;光栅槽结构镀层厚度和边界形貌;磁(光)盘及磁头表面结构,以及硅片表面粗糙度及其图形结构等。此外,由于其卓越的测量精度、高效非接触与三维测量能力,以及搭载计算机控制系统,快速分析并显示结果,本仪器适用于各级计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间,更是高等院校和科研机构不可或缺的工具.

二、主要技术规格

测量范围:对于连续表面的微观不平深度,其相邻象素之间高度突变不超过1/4波长时可达1000nm以内,而在有大于1/4波长高度突变的情况下,可达到130nm以内.

测量重复性:δRa 不超过0.5nm.

物镜倍率为40X,数值孔径为Φ 65mm,工作距离为0.5mm.

仪器视场具有目视范围Φ0.25mm以及摄象模式下的较高分辨率,为13×13µm.

放大倍数方面,可达500×在目视模式下,还能通过计算机屏幕实现2500×放大.

接收器采用1000X1000列阵,每个象素尺寸为5.2×5.2µm。

此外,本仪器还具备快捷扫描时间仅需1秒钟,同时标准镜反射率覆盖高至50%低至4%,照明源采用6V 5W白炽灯,并配备半宽波长λ≒10nm绿色干涉滤光片。

最后,该设备主显微镜升程110 mm,加上工作台升程5 mm,可以满足不同样品需求。移动范围X方向及丫方向均可达10 mm,而工作台旋转运动可以覆盖360°角位,并且顷斜角位±6°可调节。此外,它支持P4处理器以上性能电脑搭配至少1G内存17寸纯平显示器进行操作。