中国成套仪表中的光电轮廓仪难道不是WGL吗
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪采用先进的非接触式光学相移干涉技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形貌的精确立体图像,并提供详尽的分析报告。它广泛应用于测量量块、光学零件粗糙度、标尺刻线深度以及镀层结构细节等领域。此外,它还能用于磁盘和磁头表面的微观结构测量,以及硅片表面粗糙度及复杂图形测量等任务。该设备以其高精度、高效率和多功能性受到各级测试机构、企业计量室以及高等院校和科研单位的青睐.
二、主要技术规格
表面微观不平深度测量范围:1000μm(连续表面)至130μm(包含突变),分辨率1nm.
测量重复性:δRa ≤ 0.5nm.
物镜倍率:40X.
数值孔径:Φ65mm.
工作距离:0.5mm.
仪器视场与摄象范围分别为目视 Φ25mm, 摄象 13×13mm.
放大倍数设定为目视500x, 摄象2500x.
接收器阵列设置为1000X1000个象素,单个象素尺寸为5.2×5.2μm.
扫描时间约1秒钟.
标准配备包括反射率可达50%(高)、4%(低)的主显微镜镜片,以及6V 5W白炽灯照明源及绿色干涉滤波片。主显微镜升程110mm,工作台升程5mm;移动范围X方向10mm,Y方向同样10mm;工作台旋转360°,顷斜±6°可调节。此外,该系统搭载P4或更高性能处理器2.8G以上内存1G以上17寸纯平显示器,为用户提供优质的操作体验和数据展示能力。
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