什么是测量光电轮廓仪WGL
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉并分析各种工件表面的微观形貌。它能够快速生成三维立体图形,并提供精确的测量结果。适用于对各类物品进行表面粗糙度评估,如金属和塑料等材料的量块;以及精密度盘、光学零件刻线深度测试;镀层厚度和边界结构分析等多种应用场景。此外,它还能用于磁盘及磁头表面的结构检查,以及硅片上图形结构的高精度测量。
其独特之处在于高测量精度、高效率和非接触性质,使得它成为各级测试机构、计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间不可或缺的工具。而对于高等院校和科研机构来说,更是极具价值的一个检测手段。
二、技术规格详细说明
表面微观不平深度测量范围:针对连续表面且高度突变不超过波长四分之一时,达到了1000nm以内,而对于突变超过此值的情况,可扩展至130nm以内。
测量重复性:保证了δRa ≤0.5nm,即最高可达0.5纳米。
物镜倍率与数值孔径:40X倍率,数值孔径达到Φ65mm,为确保清晰视觉效果。
工作距离与视场:具有工作距离为0.5毫米,同时提供目视Φ0.25mm及摄象显示为13×13毫米的小型化设计,以适应不同样品大小需求。
放大倍数与接收器阵列:
目视放大到500X,
摄象屏幕展示2500X放大,
接收器阵列设置为1000行×1000列,
象素尺寸控制在每个象素为5.2×5.2微米小巧紧凑。
6.. 测量时间采样速度快,仅需1秒完成扫描任务。
7.. 仪器配备标准镜板,对反射率有较好的响应能力(高约50%,低约4%)。
8.. 照明源采用白炽灯6V 5W,有利于稳定照明环境;
9.. 绿色干涉滤光片波长设定在λ≒530nm,与半宽带通 λ≒10nm 配合使用,以优化干涉模式;
10.. 主显微镜升程110毫米,小巧便携;工作台升程能力达到5毫米,为操作人员提供灵活空间;
11.. X轴及丫方向移动范围广泛可达±10毫米,大幅提升操作便利性;
12.."工作台旋转运动范围360°, 顷斜角±6°", 提供全方位样品处理能力.
计算机系统要求P4处理器至少2G内存以上,并搭配17英寸纯平显示器,以支持用户友好的操作界面。