难道您忘记了光电轮廓仪WGL的使用小心吗

一、产品特性概述

本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术,实现对各种工件表面的微观形貌进行三维立体图像捕捉与分析,无需物理接触,从而保障测量对象的完整性和准确性。它广泛应用于各类精密度量、复杂表面结构评估,如测量金属或塑料物品的粗糙度,探究光学零件表面的微小变化,甚至可用于磁介质和半导体材料的高分辨率分析。此外,它也适用于研究硅片等半导体材料表面的细节结构,为相关行业提供了极为精确的手段。

由于其卓越的测量精度、高效计算能力以及便捷操作,本款光电轮廓仪不仅在计量室和工厂环境中发挥着重要作用,而且在高等教育机构及科研单位中同样备受青睐.

二、详细技术参数

测量范围:对于连续表面,其相邻象素间高度突变不得超过波长四分之一时,可达1000:1nm;若存在突变,则为130:1nm.

测量重复性:δRa ≤ 0.5 nm.

物镜倍率:40X.

数值孔径:Φ 65.

工作距离:0.5mm.

仪器视场(目视): Φ0.25mm, (摄象):0.13×0.13mm.

放大倍数(目视):500×, (摄象/屏幕观察):2500×.

接收器测量列阵大小:1000X1000.

此外,还包括以下附加功能:

象素尺寸为5.2×5.2µm。

测验采样时间约为每秒1S。

具有标准镜反射率高达50%且低至4%,并配备白炽灯6V 5W照明源。

绿色干涉滤光片波长λ≒530nm,半宽度λ≒10nm。

主显微镜升程110 mm,同时工作台升程达到了5 mm。

此设备还支持360°旋转运动,并具有一定的顷斜角调整能力,即±6°。最后,由P4级别以上电脑搭配至少2G内存及17寸纯平显示器组成,该系统旨在提升用户界面使用感同时保持数据处理速度快捷。

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