在仪器仪表制造业发展情况中你真的了解光电轮廓仪 WGL 吗
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术，能够无损地捕捉各种工件表面微观形貌的精确三维图像，并提供详尽的分析和计算功能。其适用范围广泛，包括对量块、光学零件表面的粗糙度进行测量，以及标尺、度盘刻线深度、光栅槽结构镀层厚度与边界形貌等多种应用场景。此外，它还能用于磁（光）盘和磁头表面结构测量以及硅片表面粗糙度及其图形结构的高精度检测。该仪器因其卓越的测量精度、高效率及三维非接触测量能力，在各级测试机构、计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间中均有广泛应用。此外，由于其易于操作和快速分析结果，使得高等院校和科研单位也成为主要用户群体之一.
二、技术规格参数
测量范围：对于连续表面而言，如果相邻两个象素之间没有超过波长四分之一高度突变，其最大不平深度可达1000nm；如果存在突变，则为130nm。
测验重复性：δRa ≤ 0.5 nm.
物镜倍率:40X
数值孔径: Φ 65
工作距离:0.5mm
视场：
目视视场：Φ 0.25mm
摄象视场：13 × 13 mm
放大倍数：
目视放大倍数:500×
摄象放大倍数（屏幕显示）：2500×
接收器列阵大小：1000 × 1000 象素
象素尺寸：5.2 × 5.2 µm
8.. 测验时间采样（扫描）时间为1秒钟。
9.. 反射率标准镜:
高反射率约50%
低反射率约4%
10.. 照明源类型及功率:白炽灯6V, 功耗5W.
11.. 绿色干涉滤波片特征:
波长λ≒530 nm;
半宽 λ≒10 nm;
12.. 主显微镜升程能力110 mm,
工作台升程能力5 mm,
X 和 Y 方向移动范围±10 mm,
工作台旋转角限360°，
顷斜角限±6°.
13.. 计算机系统要求:
处理器P4或更高型号;
内存至少1G;
显示器17英寸纯平屏幕;
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