难道不是光电轮廓仪 WGL 这样的仪器仪表类型吗
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术，能够无损地捕捉各种工件表面微观形貌的精确三维图像，并提供详尽的分析和计算功能。其适用范围广泛，包括对量块、光学零件表面的粗糙度进行测量，对标尺或度盘刻线深度进行评估，以及探究光栅槽结构镀层厚度及边界细节。此外，还能用于磁（光）盘及磁头表面结构测定以及硅片上图形结构的精密检测。
由于其卓越的测量精度、高效的非接触与三维测量能力，以及集成电脑控制快速分析功能，本款仪器得到了各级测试计量研究单位、工矿企业计量室、精密加工车间以及高等院校和科研机构等领域的青睐。
二、主要技术参数说明
测量范围：对于连续表面的不平深度，在没有超过1/4波长高度突变时为1000nm以内，而在有突变时可达130nm以内。
重复性：δRa ≤0.5nm，为保证高准确性的重要指标。
物镜倍率:40X，数值孔径:Φ 65，可实现清晰、高分辨率的视觉效果。
工作距离:0.5mm，合理设计，以适应不同尺寸物体。
视场与放大倍数：
目视放大倍数为500×，
摄象（计算机屏幕显示）放大至2500×，
适合多种观察需求。
其他关键技术参数包括:
接收器阵列大小:1000X1000象素
象素尺寸:5.2×5.2µm
测量时间采样速度为1秒
反射率标准镜设定为50%（高反射）至4%（低反射）
照明源采用6V 5W白炽灯，绿色干涉滤波片波长约530nm，与半宽度10nm配合工作
此外，本设备配备了P4处理器以上、至少2.8G RAM和17英寸纯平显示器，为用户提供便捷直观操作环境。
