在仪器仪表行业中光电轮廓仪WGL又何其重要呢

一、产品特性概述

本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触、光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面的微观形貌,并迅速生成立体图形。其强大的分析能力能够计算出精确的测量结果。适用于多种场合,如测量精密零件和光学元件的表面粗糙度,标尺和度盘刻线深度,以及镀层结构细节等。此外,它还可用于磁盘、磁头表面的结构分析,以及硅片上图形结构的高精度检测。该仪器之所以备受推崇,是因为它提供了极高的测量精度、高效三维测量能力以及电脑控制与快速数据处理功能,使其成为各级测试机构、计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间不可或缺的工具。此外,它也是高等院校和科研机构进行复杂实验时理想选择.

二、新一代技术规格

测量范围:在连续平滑表面下,不超过波长四分之一高度突变时,达到1000nm;超过这一阈值时,可达130nm。

测验重复性:δRa ≤ 0.5nm

物镜倍率:40X

数字孔径:Φ65mm

工作距离:0.5mm

视场大小(目视): Φ25mm;(摄像):13×13mm

放大倍数(目视):500x;(摄像显示屏)2500x

接收器分辨率:1000个象素×1000个象素, 每个象素为5.2µm×5.2µm.

9a) 测量时间采样速度: 1秒;

9b) 标准反射率: 高约50%;低约4%

10a) 照明源: 白炽灯6V, 5W;

10b) 绿色干涉滤波器波长: λ≒530nm, 半宽λ≒10nm.

11a) 主显微镜升程: 110毫米;

11b) 工作台升程: 5毫米;

12a) X-Y方向移动范围: ±10毫米;

12b) 工作台旋转范围及斜角调整范围均可达360°±6°;

此款仪器搭载P4以上CPU、内存至少1G及17英寸纯平显示屏,为用户提供了更加稳定且舒适的手动操作环境。