难道不是光电轮廓仪 WGL属于仪器仪表类别的精英吗
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形态的精确三维图像,并提供详尽的分析报告。其应用领域广泛,包括但不限于测量量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘刻线深度;光栅槽结构镀层厚度及边界细节;磁(光)盘及磁头表面结构;硅片表面粗糙度及其复杂图案等。此仪器之所以备受青睐,是因为它具备高精度、高效率且具有非接触和立体测量能力,以及搭载计算机控制系统和快速数据处理功能。因此,它适用于各级计量研究机构、工业企业计量室以及精密加工车间,以及高等院校和科研单位。
二、主要技术规格
表面微观不平深度测量范围:1000:1nm(连续表面),130:1nm(包含高度突变)
测量重复性:δRa ≤0.5nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ 65mm
工作距离:0.5mm
仪器视场:
目视观察: Φ0.25mm
摄象显示屏幕观察:13×13mm (对角)
放大倍数:
目视放大500x
摄象放大2500x (通过计算机显示)
接收器测距列阵排列方式:1000×1000象素数组
象素尺寸为5.2×5.2µm, 每个象素代表一个独立的采样点。
测距时间约为1秒。
其它重要参数如下:
标准镜反射率(高): ~50%
标准镜反射率(低): ~4%
照明源类型: 白炽灯6V, 功耗5W
绿色干涉滤波片波长 λ≒530nm; 半宽 λ≒10nm.
附加功能还包括主显微镜升程110 mm, 工作台升程5 mm, X方向移动范围±10 mm, 丫方向移动范围±10 mm,
工作台旋转360°并可斜向 ±6°调整。
最后,本设备配备P4或更高性能处理器,至少2.8G内存,搭配17英寸纯平显示器,为用户提供清晰直观的操作界面与结果展示。