在仪器仪表制造业行业分析中你真的了解光电轮廓仪WGL吗
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一、产品特性概述
本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术,实现对各种工件表面的微观形貌进行三维立体图像捕捉与分析,无需物理接触,从而保障测量对象的完整性和准确性。其广泛应用于各类精密零部件、光学元件表面粗糙度检测,以及磁盘、磁头、硅片等复杂结构的测量工作。通过高效的计算机控制与快速数据处理,本仪器能够提供即时分析结果,为各级测试机构、计量研究单位及工业企业提供可靠支持。此外,它也适用于高等教育机构和科研实验室,满足不同领域的需求.
二、高级技术规格详述
测量深度范围:对于连续表面而言,在不超过波长四分之一高度突变的情况下,可达1000nm以内;若出现超过这一阈值的高度突变,其测量范围将扩展至130nm以上。同时,保证了Ra重复性误差在±0.5nm之内。
配备40倍物镜,与数值孔径Φ65mm配合使用,支持工作距离为500毫米,并提供目标视场Φ0.25毫米(目视)或0.13×0.13平方毫米(摄象),并且可以实现最大放大倍数达到500x(目视)或2500x(摄象)。
该仪器采用1000X1000列阵接收器,每个象素尺寸为5.2×5.2微米,可以快速完成1秒钟一次扫描任务。
4 技术参数包括反射率标准镜高反射率约50%,低反射率约4%;照明源为6V 5W白炽灯,绿色干涉滤光片波长λ≒530纳米半宽度λ≒10纳米。
5 主显微镜升程110毫米,同时工作台升程可达5毫米,对于移动能力更是强劲,以每个方向10毫米作为移动范围,并拥有360°旋转运动以及±6°顷斜功能,而计算机系统则配置P4核心至少2.8GHz速度,加上至少1GB内存以及17英寸纯平显示器供操作人员使用。