难道不是光电轮廓仪 WGL才是我们追求的仪器仪表生产设备吗
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形态的精确三维图像,并提供详尽的分析报告。其应用领域广泛,包括但不限于测量量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘刻线深度;光栅槽结构镀层厚度及边界细节;磁(光)盘及磁头表面结构;硅片表面粗糙度及其复杂图案等。此外,该仪器具备高精度、高效率和快速计算能力,使其成为各级测试机构、计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间不可或缺的工具。同时,也适用于高等院校和科研机构进行深入研究。
二、新技术规格
测量范围:在连续平滑表面下,每个象素间距小于波长四分之一时可达1000nm,而大于此值时为130nm。
测量重复性:δRa 不超过0.5nm,保证了测量结果的一致性与准确性。
物镜倍率:40X,为获得清晰三维图像所必需。
数值孔径:Φ 65mm,确保了良好的成像质量。
工作距离:0.5mm,可适应不同类型和大小的工作对象。
仪器视场:
目视观察: Φ0.25mm
摄象管观察: 13×13mm (在屏幕上)
放大倍数:
目视放大: 最高500X
摄象管放大(计算机显示): 最高2500X
接收器阵列数量: 包含1000行x列数组,以捕捉更详细信息。
9-10 检测单元大小: 每个检测单元为5.2×5.2µm,对应更精细的地形变化。
11-12 实际扫描时间每次采样约1秒钟,可以显著提高工作效率。
13-14 标准反射镜:
- 高反射率约50%
- 低反射率约4%
15 光源类型:
白炽灯6V, 功率为5W
16 绿色滤镜参数:
波长λ≒530nm
半宽 λ≒10nm
17 主显微镜升程空间:110 mm
18 工作台升程空间: 5 mm
19 移动范围(两轴):
X方向移动最大±10 mm
丫方向移动最大±10 mm
20 旋转运动角度范围360°
21 顷斜角范围±6°
22 计算机配置要求:
处理器P4以上,
内存至少1G,
显示设备采用17寸纯平显示屏。