WGL光电轮廓仪仪器仪表又是什么样子的呢
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一、产品特性概述
本款仪器采用先进的非接触式光学相移干涉技术,能够无损地捕捉到各种工件表面的微观细节,并迅速生成立体形貌图像。其应用领域广泛,包括但不限于测量精密零件和量块的表面粗糙度、刻线深度;分析光栅结构和镀层边界;以及探究磁盘、磁头及硅片等材料表面的微观结构。此外,本仪器在计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间中均表现出色,同时也适合高等院校和科研机构的需求。
二、技术规格详解
表面微观不平深度测量范围:在连续表面上,两邻象素之间高度变化不超过波长四分之一时可达1000nm/1nm;若存在大于此值的突变,可达130nm/1nm。
测量重复性:δRa ≤ 0.5 nm.
物镜倍率:40X, 数值孔径:Φ65mm, 工作距离:0.5mm.
仪器视场:目视 Φ0.25mm, 摄象 0.13×0.13 mm; 放大倍数:目视500x, 摄象(计算机屏幕)2500x.
5 接收器测距列阵:1000X10000象素; 象素尺寸:5.2×5.2µm; 测量时间采样(扫描)时间:1秒.
6 仪器标准镜反射率(高): ~50%, 反射率(低): ~4%; 照明光源为白炽灯6V 5W; 绿色干涉滤光片波长λ≒530nm, 半宽度λ≒10nm.
7 主显微镜升程110 mm; 工作台升程5 mm; X方向移动范围~10 mm, 丫方向同理;工作台旋转运动范围360°, 顷斜范围±6°;
8 计算机系统要求P4处理器以上,内存至少1G以上,并配备17寸纯平显示器.
通过上述参数,我们可以看出本款WGL光电轮廓仪是一种性能卓越、高效灵活且具备多功能性的设备,不仅满足了现代工业对精确测量需求,也为科研领域提供了强有力的支持工具。