仪器测试又是什么WGL光电轮廓仪
一、产品特性概述
本款仪器采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉工件表面的微观细节,并迅速生成精确的三维立体图像。其应用领域广泛,涵盖了对各种量块、光学零件表面粗糙度、标尺刻线深度以及光栅槽形结构镀层厚度和边界结构的测量需求。此外,它还适用于磁盘和磁头表面结构测量,以及硅片表面粗糙度及其图形结构分析等复杂任务。
由于其卓越的测量精度、高效的非接触与三维测量能力,以及集成计算机控制和快速数据处理,本仪器已成为各级测试计量研究单位、工矿企业计量室、精密加工车间以及高等院校和科研机构不可或缺的一项设备.
二、技术规格详解
表面微观不平深度测定范围:在连续表面下,没有超过1/4波长高度突变时为1000nm,且具有130nm的额外灵敏性。当出现大于1/4波长高度突变时,该范围可达130nm。
测定的重复性为δRa ≤ 0.5 nm,确保了高准确性的结果。
物镜倍率为40X,同时拥有数值孔径Φ65mm及工作距离0.5mm,为用户提供了宽广视场。
仪器放大倍数包括500×目视放大及2500×计算机屏幕显示,以满足不同实验需求。
接收器采样列阵达到1000X1000象素,每个象素尺寸仅为5.2×5.2µm,是现代检测技术的一大进步。
测验时间仅需1秒钟,使得快速扫描成为可能。
标准镜具备高反射率(约50%)及低反射率(约4%),并配备白炽灯6V 5W照明源。
8 绿色干涉滤光片具有λ≒530nm波长半宽λ≒10nm特性,为更精细化探索打下基础.
9 主显微镜升程110mm,加上工作台升程5mm,可适应多种样品安装要求.
10 X方向移动范围±10 mm, 丫方向移动范围±10 mm, 工作台旋转运动360°, 顷斜角±6°可调节以满足不同角度下的操作需求.
11 计算机系统配置至少P4处理器以上性能,内存需达G以上17寸纯平显示器,以保证流畅运行软件与展示效果.
总结来说,这款WGL 光电轮廓仪不仅具备出色的性能,还因其便捷操作和多功能设计而被广泛应用于各个行业中。