难道不是光电轮廓仪 WGL正是我们这些仪器仪表测量检测的最佳伙伴吗

一、产品特性概述

本款光电轮廓仪 WGL 采用先进的非接触式光学相移干涉测量技术,能够无损地捕捉各种工件表面微观形貌的精确三维图像,并提供详尽的分析报告。其应用领域广泛,包括但不限于测量量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘刻线深度;光栅槽结构镀层厚度和边界形貌;磁(光)盘及磁头表面结构,以及硅片表面粗糙度及其图形结构等。此外,由于其卓越的测量精度、高效非接触与三维测量能力,以及搭载计算机控制系统,快速分析并显示结果,本仪器适用于各级计量研究单位、工矿企业计量室以及精密加工车间,更是高等院校和科研机构不可或缺的工具.

二、主要技术规格

测量范围:对于连续表面的微观不平深度,其相邻象素之间高度突变不超过1/4波长时可达1000nm以内,而在有大于1/4波长高度突变的情况下,可达到130nm以内.

重复性:δRa 不超过0.5nm.

物镜倍率为40X, 数值孔径为Φ 65mm, 工作距离为0.5mm.

仪器视场具有目视部分 Φ0.25mm 和摄象部分约为0.13×0.13mm.

放大倍数分为目视500×和摄象(计算机屏幕)2500×.

接收器采用1000X1000列阵,每个象素尺寸均为5.2×5.2µm, 扫描时间仅需1秒.

标准反射率高达50%,低至4%,使用6V 5W白炽灯作为照明源。

绿色干涉滤光片波长设定在λ≒530nm,半宽 λ≒10nm.

主显微镜升程110 mm, 工作台升程5 mm; X方向移动范围±10 mm; 工作台旋转360°且顷斜±6°。

此外,本设备配备P4处理器以上、内存至少1G的大型计算机系统,以及17英寸纯平显示器,为用户提供清晰舒适的操作环境。

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