光电轮廓仪WGL它又是仪器还是设备
一、产品特性概述
本款光电轮廓仪WGL采用先进的非接触式光学相移干涉技术，实现对各种工件表面的微观形貌进行三维立体图像捕捉与分析，无需物理接触，从而保障测量对象的完整性和准确性。其广泛应用于各类精密零部件、光学元件表面粗糙度检测，以及刻线深度、槽形结构镀层厚度及边界细节分析等领域。此外，它还能够高效地测量磁盘和磁头的表面结构，硅片及其上附加图形的微观特征，以及其他复杂工件尺寸与表面质量检验任务。
该设备因其卓越的测量精度、高效率以及可靠性，不仅适用于国家计量标准实验室、企业计量部门，还非常适合在高等教育机构和科研单位中进行教学研究工作.
二、技术规格详解
测量范围：能在连续平滑表面上 detectsurface micro-roughness depth changes within a range of 1000 nm to 130 nm, depending on the presence or absence of height variations greater than 1/4 wavelength.
测量稳定性：保证了δRa ≤0.5 nm 的重复测量精度.
显微镜倍率：40X
数值孔径：Φ65mm
工作距离：0.5mm
视场宽度（目视）： Φ0.25mm；（摄象）：13×13 mm²;
放大倍数（目视）：500×；（摄象计算机显示）：2500×;
接收器分辨率：1000 × 1000 pixel array with an element size of 5 μm × 5 μm;
9, 测距时间采样速率:每秒1S;
10, 标准镜反射率范围:从50%到4%;
11, 照明源类型:白炽灯6V 5W ;
12, 绿色干涉滤波器波长 λ≒530nm半宽 λ≒10nm ;
13 主显微镜升程能力:110 mm ；工作台升程能力:5 mm ;
14 X-Y方向移动范围:-10 mm ; 工作台旋转角限幅360° ; 顷斜角限幅±6° ;
15 计算机系统要求:P4处理器2 .8G以上内存1G以上17英寸纯平显示器
